陈本永教授学术报告会

时间：10月24日下午2：00
地点：7D-101
报告人：陈本永 教授
报告题目：激光干涉纳米位移测量技术
内容简介： 大范围高精度的纳米位移测量技术及仪器属精密测量科学研究的重点内容。目前，随着超精密加工、微电子制造等高新技术的迅速发展，对纳米位移测量技术及仪器提出了既要测量范围大又要同时达到纳米级测量精度的要求，例如，超精密加工技术领域中超精密加工的定位精度不断提高而运动范围不断增加，微电子技术领域中超大规模集成电路芯片线宽不断缩小而硅晶片尺寸不断扩大，以及各种扫描探针显微镜、三坐标测量机、激光干涉仪、光栅尺和其他位移传感器等也离不开大范围高精度的纳米位移测量仪器的校准或标定。报告介绍了激光合成波长纳米位移测量原理与方法、基于法拉第效应的激光偏振干涉多自由度测量原理和方法，分析了激光干涉纳米位移测量的科学问题、关键技术和发展趋势。
陈本永简介： 男，1965.12生，博士，教授，博士生导师，“长江学者”特聘教授，浙江理工大学机械与自动控制学院副院长；浙江大学机械工程专业博士，清华大学光学工程专业博士后；教育部“微/纳驱动、测量及其应用”创新团队带头人，“新世纪百千万人才工程”国家级入选者，享受国务院政府特殊津贴，浙江省有突出贡献中青年专家，浙江省“151人才工程”重点资助培养人员，浙江省高等学校优秀青年教师资助计划资助对象，校教学名师；中国仪器仪表学会理事，中国仪器仪表学会测量与控制专业委员会副主任委员，中国测试计量学会几何量测量专业委员会、计量仪器专业委员会等委员。主持国家自然科学基金项目5项（科学仪器专项1项、重大研究计划培育项目1项，面上项目3项），参加973计划项目1项和863计划项目2项；发表学术论文70余篇，被SCI收录30多篇、EI收录40多篇；授权发明专利10项；以第一完成人获国家技术发明二等奖和浙江省科学技术一等奖各1项，以第二完成人获浙江省科学技术二等奖1项。主要研究方向为纳米测量技术及仪器，微驱动器与微执行器技术，精密测量与控制技术。